自動化測試系統(tǒng):該系統(tǒng)把探針臺,矢量網(wǎng)絡分析儀,電源,信號源等整合在一起,實現(xiàn)了對晶圓的自動化測試,根據(jù)map圖對芯片
依次進行測試。系統(tǒng)實現(xiàn)了探針臺自動扎針抬針以及自動尋找待測目標,控制電源自動上下電,控制矢量網(wǎng)絡分析
儀自動獲取測試數(shù)據(jù)以及保存測試數(shù)據(jù)等功能,系統(tǒng)根據(jù)芯片的指標對測試數(shù)據(jù)進行篩選,繪制出芯片性能是否合
格的map文件。
自動化分揀系統(tǒng):該系統(tǒng)實現(xiàn)了對晶圓的自動化分揀,系統(tǒng)根據(jù)自動化測試系統(tǒng)導出的map文件,把性能合格的芯片進行自動分揀,
提高了分揀效率。
自動化目檢系統(tǒng):該系統(tǒng)實現(xiàn)了對芯片的自動化目檢,系統(tǒng)通過圖像比對功能對芯片依次進行外觀檢查,篩出外觀不合格的芯片,最
終繪制出芯片外觀是否合格的map文件。
